石英缸厂家介绍石英坩埚本身是非晶质的介态能,在适当的条件下他会发生相变化而形成稳定的方石英结晶态。方石英结晶态的形成包括成核与成长二个阶段,成核通常发生在石英坩埚壁上的结构缺陷或杂质(特别是一些碱性金属或重金属)。初期的方石英结晶为球状,进一步的成长则是沿着坩埚壁成树枝状往侧向发展,这是因为石英坩埚与溶液的反应时的垂直方向的成长受到抑制之故。在方石英结晶与非晶质石英坩埚壁之间通常夹杂着一层硅溶液,而在方石英结晶的边缘,通常覆盖着棕色的sio气泡。Sio气体为棕色,棕色的小圈是sio的结晶。根本原因在于坩埚壁上的杂质或者硅料清洗不干净所带来的酸碱或重金属残留,使坩埚在高温下不稳定,造成上诉现象。
解决方法:
1.硅料的清洗需要保证无酸碱残留或重金属
2.坩埚本身的质量过关
3.改进工艺,使用涂层或喷涂坩埚。
石英坩埚在高温下具有趋向变成二氧化硅的晶体(方石英)。这个过程称为再结晶,也称为“失透”,通常也称为“析晶”。
析晶通常发生在石英坩埚的表层,按照中国石英玻璃行业标准规定,半导体工业用石英玻璃在1400℃±5℃下保温6小时,其析晶层的平均厚度应为<100μm ,在100μm之内的析晶是属于正常的。严重的析晶对拉单晶的影响很大,石英坩埚内壁发生析晶时有可能破换坩埚内壁原有的涂层,这将导致涂层下面的气泡层和熔硅发生反应,造成部分颗粒状氧化硅进入熔硅内,使得正在生长中的晶体结构发生变异而无法正常长晶。析晶将减薄石英坩埚原有的厚度,降低了坩埚的强度容易引起石英坩埚的变形。