澳门专业石英缸价格
发布时间:2023-12-20 00:40:22
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介绍石英玻璃管包括:透明石英管、乳白石英管、石英棒、石英套管、石英片、石英仪器,各种石英弯管、球形石英管、异形石英管以及各种彩色石英管。透明石英管包括各种普通规格透明管、滤紫外石英管、无臭氧石英管等,外径范围1.5—160mm,壁厚范围0.5—15mm,长度10—3000mm。

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析晶通常发生在石英坩埚的表层,按照中国石英玻璃行业标准规定,半导体工业用石英玻璃在1400℃±5℃下保温6小时,其析晶层的平均厚度应为<100μm ,在100μm之内的析晶是属于正常的。严重的析晶对拉单晶的影响很大,内壁发生析晶时有可能破换坩埚内壁原有的涂层,这将导致涂层下面的气泡层和熔硅发生反应,造成部分颗粒状氧化硅进入熔硅内,使得正在生长中的晶体结构发生变异而无法正常长晶。析晶将减薄石英坩埚原有的厚度,降低了坩埚的强度容易引起石英坩埚的变形。

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石英玻璃凭借高纯度、耐高温、低的热膨胀等优良性能而被大量采用主要产品有用于提炼、清洗容器以及制作晶圆1C载体的石英坩埚、用于扩散、 氧化载体的扩散管和石英环、用于硅片外延工序的石英钟罩,硅片酸洗和超声波清 洗工序使用的花篮、支架,硅片扩散工序使用的硅片承栽器、石英玻璃舟等;此外生产平板显示器件需要的关键材料光掩膜基板主要基础材料也是石英玻璃 (小尺寸、高分辨率用石英玻璃;大尺寸、分辨率要求低可用苏打玻璃)。

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由于是水解过程制备,石英含有较多的水分,羟基(OH-)大约为500-1500ppm,并含有溶解在玻璃结构中的H2。因为羟基的存在,玻璃的耐热性变差,且对红外区域吸收能力较强,该类玻璃不适合应用于半导体的热处理器材以及光纤。但是由于羟基的存在,玻璃的紫外光透过率高,且能长时间的接受紫外激光的照射,所以适用于做光刻掩膜版的基板和激光光刻系统内的光学透镜。