四川专业石英管加工
发布时间:2023-07-02 00:41:55
四川专业石英管加工
由于是水解过程制备,石英含有较多的水分,羟基(OH-)大约为500-1500ppm,并含有溶解在玻璃结构中的H2。因为羟基的存在,玻璃的耐热性变差,且对红外区域吸收能力较强,该类玻璃不适合应用于半导体的热处理器材以及光纤。但是由于羟基的存在,玻璃的紫外光透过率高,且能长时间的接受紫外激光的照射,所以适用于做光刻掩膜版的基板和激光光刻系统内的光学透镜。

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石英玻璃是良好的耐酸材料,除氢氟酸和300度以上的热磷酸外,在高温下,能耐硫酸,硝酸,盐酸,王水,中性盐类,碳和硫等侵蚀,其化学稳定性相当于耐酸陶瓷的30倍,相当于镍铬合金和陶瓷的150倍,耐高温,耐热震,热膨胀系数特别小。

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析晶通常发生在石英坩埚的表层,按照中国石英玻璃行业标准规定,半导体工业用石英玻璃在1400℃±5℃下保温6小时,其析晶层的平均厚度应为<100μm ,在100μm之内的析晶是属于正常的。严重的析晶对拉单晶的影响很大,内壁发生析晶时有可能破换坩埚内壁原有的涂层,这将导致涂层下面的气泡层和熔硅发生反应,造成部分颗粒状氧化硅进入熔硅内,使得正在生长中的晶体结构发生变异而无法正常长晶。析晶将减薄石英坩埚原有的厚度,降低了坩埚的强度容易引起石英坩埚的变形。

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石英玻璃电学性能佳,在常温下,的电阻相当于一般玻璃的10倍,对悉数频率的介电丢失很微小,绝缘耐压强度大。还具有耐宇宙放射线,和不透原子核裂变产物的性质。

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石英玻璃的软化点温度约1730℃,可在1100℃下长时间使用,短时间使用温度可达1450℃。除氢氟酸外,石英玻璃几乎不与其他酸类物质发生化学反应,其耐酸能力是陶瓷的30倍,不锈钢的150倍,在高温下的化学稳定性,是其他任何工程材料都无法比拟的。